二手 SPEEDFAM 5B-7L #9276666 待售

SPEEDFAM 5B-7L是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备,旨在为光子学、MEMS、医疗设备和其他微型产品等应用提供高精度处理解决方桉。该系统提供了一种高效的方式来完成CMP和半导体基板。它由研磨单元、研磨单元、抛光单元和真空淋浴单元4个主要部件组成。磨削单元是先进的5轴，具有高精度运动，使其在晶圆表面达到亚微米精度。它可以与金刚石和CBN两种类型的磨轮一起使用，并且最多使用两个独立的电动机，从而确保晶圆表面的平滑和一致的结构。该机组还配备了可调节的自动动力控制功能，抵消了磨削轴因车轮失衡而出现的不均匀运动。研磨装置是为圆柱形和平坦表面研磨而设计的。虽然磨料石用于控制研磨过程，但各种磨料浆可用于满足各种基材的研磨过程要求。研磨装置还具有自动调整磨轮转速的功能，可精确控制研磨参数，并提供尽可能高的精度和表面光洁度。抛光装置的主要目的是利用各种抛光材料和工艺在晶圆表面上达到光滑、高质量的光洁度。可以结合不同类型的抛光方法，如泥浆分散、缓冲和填充调节，以达到预期的效果。最后，真空淋浴机负责通过清除所有研磨、研磨和抛光过程产生的碎片，在加工过程中清洁整个晶片。使用单一的除尘源,大大减少了维护的需要。该工具得益于高效的吸力，可以快速清除灰尘颗粒，而不会降低整个资产的性能。5B-7L对于寻求晶圆研磨、研磨和抛光要求解决方桉的人来说是一个极好的选择,它提供了无与伦比的精确度和顶级生产率。通过使用所有这些不同的特性和组件,模型能够提供优质的产品。