二手 SPEEDFAM 5B-8L-I #9208858 待售

SPEEDFAM 5B-8L-I晶片研磨、研磨和抛光设备是一种自动化、自成一体的集成处理系统,旨在以最高精度抛光晶片。这是通过将抛光头的独特特性（包括高效的切削轮廓与独立的主轴驱动器）结合起来完成的。该单元还采用模块化设计，以便于添加新工具和升级。该机设计有一个固定晶片卡盘耦合到一个可调主轴，允许精确选择研磨参数。主轴的转速从0-3,500 rpm不等,可以将晶片以最高0.1mm的精度送入磨头。磨头由一个旋转的金刚石圆盘组成，该圆盘由可调节的速度马达驱动，能够达到高达70度的角度。这样可以确保研磨力均匀地穿过晶片表面,从而提高切口的均匀性。这种刀具的精确度是通过其可调的深度量表实现的，这使得横跨晶圆的切口具有恒定和一致的深度。资产的研磨阶段由两个伺服电动机驱动，这些伺服电动机引导研磨盘（一种碳化硅砂纸）穿过晶圆表面。研磨速度可调，范围为0-2000rpm。该级由气动控制模型控制，在受控研磨操作中提供了高度的精度和均匀性。设备的抛光阶段是由液压动力驱动的压板实现的，该压板确保台面的平滑往复运动，提供均匀的光洁度。压板能够执行不同的传球,可从0调整到15。在抛光过程中，用水泵在恒流上施加的水基液体润滑表面，以防止抛光缺陷的发生。该系统还包括一个数字编码器，该编码器在抛光过程中精确控制往复电动机的速率，从而实现均匀光滑的结果。通过利用晶片研磨、研磨和抛光单元中5B-8L-I特性,可以对表面进行一致、准确的抛光,使其达到高精度要求,并具有快速的操作速度和出色的工艺控制。因此，这台机器是客户高效需求和寻求取得最佳效果的理想选择。