二手 SPEEDFAM 5B-8L #9276627 待售
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SPEEDFAM 5B-8L是一种高性能晶圆研磨、研磨和抛光设备,专为当今半导体制造领域的要求而设计。该系统是一种高度通用的工具,使用户能够快速高效地对各种材料执行一系列操作。它具有坚固的重型铸铁结构,占地面积小,适合广泛的工业应用,包括研发、生产和工艺工程。该机包括一个大砂轮与适当的砂轮速度,精度和精细控制。此外,5B-8L还具有重型主轴、柔性两轴旋转头和多重旋转速度,允许广泛的研磨类型和尺寸。该单元还包括一个研磨盘和一个具有独立速度轮廓的抛光盘,两者均配有车轮界面,以实现不同的研磨模式。该机兼容了一系列不同的材料,包括硅、无间隙硅和金属基板,能够进行高精度加工,可重复性精度超过0.08毫米。其高精度微调装置提供0.02毫米的精度。SPEEDFAM 5B-8L具有用户友好、直观的界面,即使初学者也能轻松操作。该工具还配备了几个安全功能,以保证操作员的安全。其冷却资产还允许广泛的操作条件,而型号的密封盖防止灰尘到达其敏感部件。此外,5B-8L采用高性能真空设备和排气槽进行设计,以捕获加工过程中产生的芯片。这一特点不仅提高了安全,保持了工作环境的清洁,也有助于延长磨轮的使用寿命。该系统包括各种质量控制措施,包括飞行中监测、自动研磨端点和单位级诊断。总体而言,SPEEDFAM 5B-8L是一种高性能晶圆研磨、研磨和抛光机,非常适合任何半导体生产线。凭借其坚固的结构、通用的研磨功能、用户友好的界面和高精度的精确度,该工具旨在满足当今半导体制造的需求。
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