二手 SPEEDFAM 64 BAW #9226536 待售

SPEEDFAM 64 BAW
ID: 9226536
Single-sided polisher.
SPEEDFAM 64 BAW是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备,设计用于晶圆表面的快速和精确制造。它是一个高容量的自动化系统,占地面积小,用户界面强大,旨在简化和简化研磨、研磨和抛光工艺。64 BAW的研磨能力高达64个4英寸晶圆,最大带宽0.25mm。它具有精确的五轴运动控制单元和高速7轴工作台,用于精确的高速研磨、研磨和抛光。台面装有精密定位机,可让台面以精细的步进解析度向三个方向旋转。SPEEDFAM 64 BAW采用金刚石车轮铅精加工技术,表面质量优越.高精度铅精加工具有自由表面和均匀表面粗糙度,明显优于手动生产的表面。它还采用了磁流变流体阻尼器工具,帮助减少噪音和振动,同时研磨。资产附带了一系列流程参数,这些参数可以根据客户的需要进行调整。它可以被编程为自动调整研磨、研磨和抛光参数,这有助于保持一致的表面质量并最小化循环时间。64 BAW型号完全自动化,可在清洁室环境中运行,符合100级和1000级清洁标准。它还具有危险的环境保护,避免与晶圆颗粒接触,从而最大限度地减少污染和空气颗粒污染。SPEEDFAM 64 BAW是一种高效可靠的设备,允许对半导体晶片和其他基板进行大体积研磨、研磨和抛光。结合其直观的用户界面、高效的自动化和危险的环保,是生产表面质量优越、循环时间最短的晶圆表面的理想系统。
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