二手 SPEEDFAM 6B-11P-IV #9400317 待售

SPEEDFAM 6B-11P-IV是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备，利用先进的概念和技术提供高精度和表面光洁度。该系统包括各种各样的工具和配件,以实现最高的效率和性能。6B-11P-IV包括一个包含若干磨削/研磨工具的主体，包括一个主磨轮和一个装有金刚石浸渍头的高速抛光装置。砂轮可针对不同的工艺参数进行调节，可用于碳化硅（SiC）、氧化铝（Al2O3）和多晶金刚石（PCD）等各类磨料。抛光机采用自动交换机构，使操作员能够在研磨和抛光操作之间快速切换。交换机制还有助于确保过程参数一致。该工具还包括广泛的子系统，包括冷却资产、研磨板和研磨板手套。冷却模型有助于确保优化的速度和磨料性能,还有助于保护磨料磨削/研磨/抛光元件不会过热。研磨板和研磨板手套的设计是为了减少磨料的提取和帮助保持基板平坦。开发了SPEEDFAM 6B-11P-IV以满足各种流程要求。它可以在半导体表面达到<1. nm （1 x 10-9mm）的表面光洁度或类似镜像的光洁度，这取决于应用和所需的表面规格。由于设计紧凑，重心低，设备可靠性高，操作方便，即使在严密密闭的环境中也是如此。6B-11P-IV晶圆研磨、研磨和抛光系统是先进的半导体加工和精加工应用的一种可靠、高质量的解决方桉。其高度现代化的技术和特点保证了最高的技术性能，使其成为半导体制造工艺的可靠和高效的选择。