二手 SPEEDFAM 6B-7L/P #9191612 待售

SPEEDFAM 6B-7L/P是一种晶圆研磨、研磨、抛光设备，提供卓越的晶圆表面光洁度和性能。它非常适合用于制造半导体和光电器件，如GaAs、InP和GaN器件。该系统采用金刚石浸渍砂轮、专用研磨头和抛光头的组合，由于其工艺控制、快速循环时间和每个晶片表面的均匀性而实现。SPEEDFAM 6B-7L/P单元是一个功能齐全的解决方桉,具有直接驱动主轴、可编程研磨和研磨力、精密Z轴运动和多功能辅助头等机器特性。该机还配备了支持晶片快速加载的智能夹具、触摸屏界面以及用于快速设置和操作的内置教程。磨头采用金刚石磨料，以最大的磨削效率，磨头采用专有的验证Plus™头，用于均匀磨面。抛光头包括易于操作的自动化再循环资产，有助于调节压力、速度和气流。SPEEDFAM 6B-7L/P还被设计成包含清洁室友好的功能，如可调节的颗粒雾分离器、封闭的金属外壳和闭环泵油喷雾器。此外,该模型还采用工艺参数来适应不同的晶圆材料、分辨率和优化的循环参数。SPEEDFAM 6B-7L/P包括为每个晶片设置单独的设置配置文件,从而提高一致性和质量保证。它还为所有流程参数提供在线数据跟踪,帮助机器维护、故障排除和流程可重复性。此外，SPEEDFAM 6B-7L/P利用自清洁再循环设备和自动收集灰尘，有助于减少废物。SPEEDFAM 6B-7L/P是一种坚固且用途广泛的晶圆研磨、研磨和抛光系统。它非常适合生产具有优化的光洁度、均匀性和一致外形尺寸的高质量晶片。凭借其洁净室友好的特点、直观的触摸屏控制以及全自动操作，它是一个可靠而强大的半导体和光电元件研磨、研磨和抛光解决方桉。