二手 SPEEDFAM 84 BAW #9207276 待售

SPEEDFAM 84 BAW是一种高精度的晶圆研磨、研磨和抛光设备,其设计目的是在每一个应用程序中都能获得卓越的质量效果。该机采用磨料和化学工艺相结合的方式，在晶圆表面上实现光滑、光滑的光洁度。该系统是自动化的；用户只需将基板加载到设备的研磨台上并设置所需的参数,然后由机器负责重新加工。操作员可以根据特定需求调整研磨过程,如果需要,还可以在过程的中间更改参数。84 BAW使用了一系列粗细的金刚石轮毂、研磨和抛光胶带以及浆料，以及一个旋转的机械抛光机来达到理想的结果。磨料以不同的载荷、研磨速度和时间设置进行应用,以确保在整个应用过程中均匀完成。该机设计为生产平面度小于1 um、表面粗糙度降低≤ 0.04 um的非扭曲表面。该机配备了全自动振荡机构，使其能够同时研磨和抛光多种尺寸和厚度不同的基板。它还具有一个后处理透明粘合剂工具，使样品能够在处理后迅速去除。此外，平台还配备了范围广泛的温度、压力、供水传感器，以确保最佳运行和效果。SPEEDFAM 84 BAW配有图形用户界面，便于监控。操控板允许选择研磨参数、启动操作序列和评估处理信息。此外，该资产还集成了一系列安全功能，用于在硬件或软件发生故障时保护操作员和操作流程。总的来说，84 BAW是一个强大的设备，用于研磨，研磨和抛光晶片的多个应用，允许更高的准确性和可重复性。它的自动化模型、广泛的传感器、可调参数和直观的图形界面确保了它的效率和可靠性。