二手 SPEEDFAM 9B-5 #293606725 待售
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SPEEDFAM 9B-5是一种多用途晶圆研磨、研磨和抛光设备,用于半导体工业。它使用了一系列行星纺锤来研磨、圈圈和抛光任何大小或材料的晶片,包括石英、陶瓷或硅。它是一种先进的磨削和抛光形式,用于达到比基本抛光磨料轮更高的晶圆光洁度。9B-5由大型机、电机控制器和可选电源组成。大型机是一个坚固可靠的钢结构,容纳研磨和抛光行星,样品持有者,和配件。电机控制器提供速度和热控制,允许在三个研磨、研磨和抛光相的每一个上都有精确的性能。可选电源用于为研磨和抛光操作提供最佳电流,从而确保晶圆的高效处理。SPEEDFAM 9B-5能够处理范围非常广泛的晶圆尺寸,从1毫米到200毫米不等。此外,系统可以配置为两行星或三行星设置,以满足特定处理任务的要求。双行星单元是单面或双面晶圆研磨的理想选择,而三行星机器则是多任务抛光循环所必需的。所有行星都是高度可调的,可以方便准确地设置磨削和抛光操作的工具。9B-5配有广泛的配件,扩大了它的多功能性。自动化功能(如机器人装载器)允许它容纳更大的生产运行。此外,自旋卡盘或真空卡盘等选项提高了晶圆加工的准确性和可重复性。该资产还配备了种类繁多的研磨和抛光磨料,允许在广泛的晶圆材料上实现最佳性能。SPEEDFAM 9B-5为用户提供了高速研磨、研磨和抛光各种晶圆材料的高效可靠解决方桉。其先进的功能使其成为实现成本节约、降低人工成本和提高生产质量的理想工具。
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