二手 SPEEDFAM 9B-5 #293798806 待售

SPEEDFAM 9B-5是由SPEEDFAM Corporation生产的晶圆研磨、研磨和抛光系统。它旨在为自动化半导体制造工艺提供高精度的晶圆抛光和均匀性。9B-5有七个加工头，包括磨削、研磨和抛光头，它们以精确调节的速度旋转。圆盘式磨头采用旋转金刚石砂轮和行星齿轮驱动器，以实现更高的磨削/抛光速度和更好的表面光洁度结果。晶片牢牢地固定在两个磁头之间，而磨盘和行星齿轮驱动以编程的RPM旋转，使晶片与磨轮接触。与传统的旋转系统相比，研磨头具有摆动的圈轮和配重系统，可提供更高效、更精确的研磨。研磨轮的速度和冲程速率均可调节,从而可以精确控制过程。研磨轮还采用了金刚石磨料，以确保一致的结果和高精度。抛光头提供了过程中的最后一步，确保了最高水平的表面光洁度。SPEEDFAM抛光头的设计可容纳不同的晶圆尺寸和厚度。头部采用振动垫和行星齿轮传动，以提供最高精度和准确度。为了改进结果,磁头设计为以精确调节的速度旋转。SPEEDFAM 9B-5是为生产高精度晶圆研磨、研磨和抛光而设计的.它具有模块化设计，允许添加多个工艺头并提供更大的灵活性。该系统还采用先进的数字测量工具和计算机控制的电子/机械系统，以确保高精度和可重复性。总体而言,9B-5提供了最佳的晶片加工性能,包括高效的研磨和研磨、高精度抛光以及均匀的表面饰面。