二手 SPEEDFAM 9B-5B-IV #9223853 待售

SPEEDFAM 9B-5B-IV是一种先进的研磨、研磨和抛光设备，设计用于晶圆的精密磨损、抛光和表面改性。系统使用三个特殊磨料轮的组合来处理晶片。所有车轮都固定在密封的环境中，并在垂直平面中旋转，以进行精确的研磨和抛光。磨削轮和研磨轮由固定在复合主轴上的细或粗氧化铝颗粒组成。这个主轴以精确的速度旋转，使得研磨和研磨过程发生而不会损坏晶片。研磨过程在晶片上创建一个平坦的表面,而研磨过程提高了表面粗糙度。该单元的整理轮为多晶金刚石（PCD）轮。PCD比氧化铝具有明显的研磨性，用于增加晶圆的表面粗糙度。这是通过精确的振荡运动加上车轮的RPM逐渐增加来实现的。这个过程去除了较小的粒子，允许更高的精确度。9B-5B-IV台机器采用模块化设计，可进行简单的维护和维修。它包括一个内置的保护柜，保护操作员免受与磨料工艺相关的潜在危险。整个工具通过PLC和PC进行监控和控制,并配置为操作员选择正确的研磨过程。数据记录和报告可用于跟踪流程和部件历史记录。这项资产的设计考虑到了自动化。它能够以最短的安装时间和相对较小的占地面积每小时处理多达50个晶圆。可以定制模型以满足客户的特定需求,包括添加多种工具和模块的能力。总体而言，SPEEDFAM 9B-5B-IV是精密晶圆研磨、研磨和抛光的有力工具。它能够准确地产生平坦光滑的表面，同时也提供出色的表面光洁度。设备的自动化功能允许对其进行配置以满足特定的生产需求。