二手 SPEEDFAM 9B-5L-42 #9224846 待售

SPEEDFAM 9B-5L-42是由SPEEDFAM International Incorporated制造的高性能晶圆研磨、研磨和抛光设备。它广泛用于电信、电源设备、MEMS、MEMC、SOI和晶圆级光学等行业。该系统配备了五个研磨板-4 "x2"、6 "x3"或8 "x4",并安装在两个三头配置上。第一种配置是5L-42N的，它包括一个封闭的可变流动循环研磨油单元以及一个低功率的刷子，在研磨周期之间清洁板和准备晶片。第二种配置是5L-42C，它包括冷却剂循环罐和风扇冷却代替。这两种配置都有一个由½ HP电机驱动的36英寸磨轮、一个由1 HP电机驱动的420mm空转台、数字张紧器、一个用于特殊研磨和抛光步骤的研磨/抛光压板以及一个用于脱毛机的粉泡机。5L-42工具具有出色的研磨精度,研磨精度可达± 1 µm；高去除率，研磨速度可达2 µm/秒；和自动化操作,带有直观的9英寸彩色触摸屏以方便操作,以及用于控制和数据记录的可编程逻辑控制器（PLC）。此外，该资产拥有一个强大的设计，使其适用于所有类型的晶圆。还可以向9B-5L-42添加许多可定制的选项,包括用于干湿处理的旋转输送机、晶片卡盘和基于CPU的控制站。该型号还采用模块化结构，便于升级到功能更强大的组件和功能，如传感器头计算机接口和自动晶片装卸系统。总体而言,SPEEDFAM 9B-5L-42是一种可靠的符合人体工程学的设备,提供精湛的研磨精度、高的拆卸率、先进的自动化和一系列可定制的选项。该系统用于多种行业,为那些在研磨、研磨和抛光晶片时寻求极致精度的用户提供可靠的性能。