二手 SPEEDFAM 9B-5L-III #9311816 待售

SPEEDFAM 9B-5L-III是一种精密晶圆研磨、研磨和抛光设备.该系统专为处理大型3"-5"半导体晶圆而设计，能够实现单高速操作的高几何精度和表面光洁度。该单元还配备了一个全自动控制机器，结合了先进的机器功能，使精密控制和工程处理成为可能。SPEEDFAM 9 B 5 L III利用强制磨料接触的过程，允许晶片两侧同时进行单通加工，以达到轮廓和平行性。刀具独特的设计允许可控的转速、压力和进给速率，从而实现参数的精确控制。强制磨料接触由2.7 hp直流伺服电动机提供动力,并与可调节的模具夹具结合使用,以确保晶圆处理的安全性和一致性。9B-5L-III包括可编程逻辑控制器（PLC）,用于监控和规范自动化操作。资产还包括自动循环控制和象限阵列主轴头设计。这种设计最大限度地减少了角抛光，旨在消除操作员的干扰并确保晶片表面的均匀性。该模型的实时图形用户界面（GUI）旨在提供广泛的操作员反馈和控制,而强大的工作处理和资产监控设备的集成确保了高效、可重复的操作。9 B 5 L III包括广泛的可供定制的磨料，允许操作员根据应用轻松选择最佳加工条件。该系统还因其坚固的构造、先进的驱动技术和模块化设计而设计为易于维护和维修。SPEEDFAM 9B-5L-III非常适合要求高表面光洁度和几何精度的高精度抛光和研磨应用,提供可靠的重复性和卓越的性能。该设备的吞吐量高达每小时900晶圆,能够提高生产效率和降低运营成本。