二手 SPEEDFAM 9B-5L-IV #293797713 待售

SPEEDFAM 9B-5L-IV是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备，可以在不同类型的基板上运行，从硅和石英到SiC、蓝宝石和各种金属。它通过机械和光学配置的无缝集成,实现了晶片研磨、研磨和抛光的无与伦比的精度和精确度。该系统融合了多种专有技术，包括微米精确晶圆研磨工艺、自动晶圆计量单元和纳米级磨料精加工机构。9B-5L-IV的心脏由精密分级的金刚石磨轮组成，由直线驱动机器驱动。这种组合能够达到每平方英寸高达15,000磅的磨削力，提供无与伦比的精度和控制，同时也产生最大的切割速度。主轴可以以高达18,000 rpm的速度旋转，使得晶圆的直径可以快速和精确地磨削到10微米以下。除了研磨能力外，SPEEDFAM 9B-5L-IV还采用晶圆研磨工艺，通过装有一组金刚石粘合盘的三轴龙门进行控制。这些圆盘在压力下围绕晶片移动，创造出具有纳米精度的均匀表面光洁度。该工具还包括视觉引导系统，即使在最小的晶片上也能提供准确和可重复的结果。9B-5L-IV还配备了自动晶圆计量资产，在监测研磨和研磨过程时提供更高的精度和控制。该模型能够检测晶圆表面的不规则性并进行相应的校正。最后，抛光过程也是自动化的，通过抛光垫和微处理器控制的旋转头的组合。该设备能够以纳米精度和可重复性提供高达32 Ra的光洁度。总体而言，SPEEDFAM 9B-5L-IV是获得卓越质量晶圆研磨、研磨和抛光效果的理想机器。它无缝集成了先进的技术和精密分级的组件，使它能够达到无与伦比的准确性和效率水平，每一个结果都是可重复和可靠的。