二手 SPEEDFAM 9B-5L-IV #9181275 待售

SPEEDFAM 9B-5L-IV是晶圆研磨、研磨和抛光的自动化设备。它是一个五轴系统,为要求最苛刻的应用程序提供了最高的准确性和可重复性。它为硅和其他微妙物质，包括金刚石和SiC提供了三个级别的研磨、研磨和抛光。9B-5L-IV单元设计用于处理半导体晶片，并对其执行苛刻的研磨和抛光操作。本机使用先进的运动对数定位工具（KLPS）。它使用三个轴移动刀头和两个附加轴来定位工件，同时保持精确的控制。这样可以获得所需的几何形状和晶圆的精确光洁度。KLPS控制资产还利用3 D插值功能,使机器能够跟踪形状不规则的晶圆。SPEEDFAM 9B-5L-IV具有坚固的电动主轴,非常适合高精度研磨、研磨和抛光应用。它配备了一个用于监测夹紧力的载荷单元。这样可以确保材料不会因过度夹紧而损坏。主轴的机油冷却功能可确保设备在操作过程中不会过热。细粒磨削/抛光盘的选择范围从50 um-0.2 μ m（超精米）到25-250 μ m。它支持直接镀金刚石的研磨板，便于高效研磨过程。9B-5L-IV还支持计算机数控（CNC）,可实现自动研磨、研磨和抛光过程。该型号内置的CCD夹具相机可以捕捉研磨/抛光晶片的图像，允许用户监控操作质量。它易于使用的软件为用户提供各种参数，如自动对齐、配置文件设置、边缘检测等等，以方便操作。此外，该机组还配备了内置的油雾清洁器，该清洁器可过滤出磨削产品中的小颗粒和在磨削过程中可以粘附在仪器上的污垢，确保清洁运行。所有这些功能都结合在SPEEDFAM 9B-5L-IV设备中,使其成为最先进的晶圆研磨、研磨和抛光操作的竞争选择。