二手 SPEEDFAM 9B-5L-IV #9181276 待售

SPEEDFAM 9B-5L-IV是一种精密的晶圆研磨、研磨和抛光系统,主要用于半导体制造过程。它具有完全自动化的可靠性，能够处理各种各样的材料和形状。该系统由几个组件组成，这些组件协同工作以有效地研磨、研磨和抛光晶片。这包括移动晶片级的机器人手臂、研磨、研磨和抛光室、纺车和用于监测过程数据的直列式称重桥。机器人臂用于将晶片级小心翼翼地移动到研磨、研磨、抛光室中。室内温度控制，确保材料在处理过程中保持理想状态。在内部，腔室还包含一个旋转的车轮，该车轮将晶片旋转到车轮下方，使其磨削和抛光。研磨、研磨和抛光室具有可调的设置，以控制施加在晶圆上的速度和压力。可以调整施加在晶片上的压力，以确保根据晶片的材料施加正确的量。这有助于确保在此过程中取得最佳结果。处理过程完成后，晶圆级移出腔室并检查收集到的数据。串联称重桥测量研磨、研磨、抛光过程中从晶片中除去的物料量。然后使用这些数据验证在处理过程中是否施加了正确的压力。通过使用9B-5L-IV,制造商可以确保其流程高效可靠。控制过程中使用的压力和速度的能力,以及测量从晶圆中去除的材料量的能力,使得所有制成品的结果一致。这使得SPEEDFAM 9B-5L-IV现代半导体行业的宝贵工具。