二手 SPEEDFAM 9B-5L-IV #9181284 待售

SPEEDFAM 9B-5L-IV晶片研磨、研磨和抛光设备是一种用于半导体晶片精密研磨和抛光的全自动可编程加工工艺。该系统将几种不同设备的自由磨料研磨、研磨和金刚石抛光能力结合到一台机器中，提供单步工艺。该单元的主要部件是磨料磨头，具有直径5英寸的压板，最多可容纳9个晶圆。它还包含两组磨轮架，可容纳多达36个磨轮，范围从500到2000砂砾，用于抛光和铺面应用。磨头配备了变速电机和可调深度的切削设置，允许调整工艺条件进行微调。下一个组件是研磨头，它使用精密的浮动刀刃压板，以确保研磨操作在整个晶片上一致。此头具有两轴运动,可精确控制切割深度和速度。研磨头还装有可调节的金刚石喷嘴，可用来分散磨料化合物，让操作员仔细控制研磨参数。最后一个元件是金刚石抛光头，它使用巧妙的3轴转盘，可以以"图8"运动移动晶片，以确保均匀的表面光洁度。此功能使机器能够实现平整和无刮擦的完成,而无需手动干预。抛光头还配有固定位置的金刚石喷嘴，可有效分散抛光化合物。将研磨、研磨和抛光操作集成到单个机床9B-5L-IV能力使晶圆研磨、研磨和抛光机成为高精度半导体应用的理想选择。磨削、研磨和抛光头的可调参数使操作员能够根据各种工艺要求轻松对机器进行微调，并产生可重复、无缺陷的结果。结合其高机动性，该工具适用于任何生产环境。