二手 SPEEDFAM 9B-5L-IV #9191615 待售

SPEEDFAM 9B-5L-IV是一种真正创新的晶圆研磨、研磨和抛光设备。这个直观的系统是专门为当今最关键的材料而设计的，从氮化​​氙（GaN）半导体到绝缘子上硅（SOI）器件。它有一个六轴工业机器人能够支撑两个过程头，一个大直径轮和一个polycool轮。它还有一个切割头和一个软皮带研磨机。切削头和软皮带磨床具有调速和数字化位置控制功能，可精确切割和磨削小网眼。工业机械臂创造了高精度和可重复性，显着减少了材料损失和生产排斥。此外,保证低缺陷率和高产率.9B-5L-IV装有一个大直径的车轮，通过研磨和研磨一步处理大型基板。这个轮子配有真空卡盘，并且是可调的，允许不同类型和尺寸的基板进行加工。Polycool轮是一种独特的专用轮,用于研磨和抛光大型基板。这个轮子装有一个装有水基冷却剂的冷却室。冷却剂通过专用泵在车轮上循环，从而实现稳定、恒定的冷却。这种冷却减少了热梯度和与热有关的缺陷,从而实现了出色的表面光洁度。SPEEDFAM 9B-5L-IV还具有强大的电气驱动器,可降低功耗并提高寿命可靠性。此外，其先进的诊断、报警单元和自动安全关闭机使其成为用户友好、安全可靠的工具。9B-5L-IV是一种高科技、经济高效、可靠的晶圆研磨、研磨和抛光资产。其独特的特性和能力使其成为当今具有挑战性的基材加工的理想选择。对于需要最高抛光精度的材料,它是一个创新的解决方桉。