二手 SPEEDFAM 9B-5L-IV #9208859 待售

SPEEDFAM 9B-5L-IV是为高精度应用而设计的晶圆研磨、研磨和抛光设备。该系统采用proGran™研磨室，配备了最新一代晶圆研磨技术。这样可确保将不透明和/或纤薄晶片磨削至最紧公差的最佳性能。独特的proGran™研磨室还具有卓越的热控制和动态平衡，能够有限的研磨大型晶片达135毫米。9B-5L-IV由无刷直流电动机和先进的数字通信和网络连接选项提供动力。该单元采用高功率、高性能的5级研磨工艺驱动，能够产生亚微米均匀性，最大平坦度规格为+/-5 μ m。该机还提供了出色的表面均匀性，RZ为0.2-.3um。SPEEDFAM 9B-5L-IV由专有的IntelliPol™抛光工具备份,为用户提供完整的PZT晶圆抛光解决方桉。IntelliPol™资产的设计目的是在晶圆上提供低应力的精确抛光,并为用户提供调整抛光浆的压力分布、低压、可变速度和再循环的能力。用户还可以根据需要将清洁、除锈和表面研磨工艺集成到模型中。9B-5L-IV还包括一系列先进的晶片处理设施，确保晶片在整个过程中的安全和高效处理。设备可以配置自动卡盘旋转过程，使用最新的可用技术，以确保精确的晶圆定位和安全的加载。用户可以访问基于Web的监视系统,以监视和控制设备的性能。这包括实时PZT温度和压力读数、时间使用数据和机器性能指标。总体而言，SPEEDFAM 9B-5L-IV晶片研磨、研磨和抛光工具是那些希望达到最高精密晶片加工水平的人的理想解决方桉。该资产为用户提供了广泛的功能,包括复杂的晶圆处理、研磨和抛光功能以及高级监控和报告功能。这种特性的结合使得该模型适用于半导体制造、航空航天和汽车工程以及医疗设备制造等行业。