二手 SPEEDFAM 9B-5L-IV #9223160 待售

SPEEDFAM 9B-5L-IV
ID: 9223160
Double sided lapping machine 1991-1995 vintage.
SPEEDFAM 9B-5L-IV是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备,设计用于以高质量的表面光洁度完成晶圆。这台机器采用高速研磨、研磨和受控抛光的组合,产生高度精确和精确的晶圆表面。9B-5L-IV能够在三种模式下操作-研磨、研磨和抛光。磨削是该过程的第一阶段,使用晶片在两个旋转的磨料板之间进行。此过程用于去除材料并平滑任何表面粗糙度。磨削过程中可达到的表面粗糙度通常为5-10纳米.研磨是过程的第二阶段,在平面上进行,而晶片以受控的方式在表面上移动。这是用金刚石圈和研磨膏完成的,一般用于达到小于0.25纳米的表面粗糙度。抛光是工艺的第三阶段,用于赋予晶片高发光光洁度。SPEEDFAM 9B-5L-IV配备了可调整以适应不同晶圆尺寸的抛光轮。抛光工艺可以达到小于0.1纳米的表面粗糙度。9B-5L-IV是一种高效、多用途的晶片研磨、研磨和抛光系统,能够生产高精度、高质量的晶片,表面光洁度满足各行业的要求。该单元易于操作,可以调整研磨、研磨和抛光工艺的速度以及负载,从而可以更好地控制最终结果。设计紧凑、功耗低,是寻找晶圆研磨、研磨抛光机的企业的理想选择。
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