二手 SPEEDFAM 9B-5L-IV #9224517 待售

SPEEDFAM 9B-5L-IV是SPEEDFAM公司制造的晶圆研磨、研磨、抛光设备。该系统旨在同时处理具有多种表面特征的功能齐全的晶片。它有五个工作甲板在一个孤立的真空环境，它允许重复和可靠的例行研磨，研磨，和抛光操作。9B-5L-IV装置的工艺设计满足基材加工和生产的高要求。高精度的5轴机能够生产公差严密的零件，并配备干湿加工能力。这台机器能够提供极好的表面光洁度和最小的缺陷.该工具使用金刚石磨料轮，以及专门的金刚石浆料和其他一些抛光部件来生产紧密公差的零件。它具有两种几何形状-双模式和单模式-提供独特的研磨、研磨和抛光功能。双模态几何有助于批量处理大体积零件,而单模态非常适合更详细的处理需求。每一个金刚石车轮都安装在一个出色的不锈钢衬板上，并经过微调，以获得最佳的重复精度。精磨设备采用晶圆表面光洁度监测器、高速加载臂和PLC驱动的装卸模型相结合。SPEEDFAM 9B-5L-IV处理各种尺寸的晶片,可以灵活处理微小的变化。晶圆尺寸被持续监控，以尽量减少与工艺相关的损害。此外，9B-5L-IV还配备了定制的压力监测和控制系统，以减少工艺时间的变化。该设备还包含低速倾斜和修整主轴电机，并带有用于精确零件定位和对准的传感器。钻石磨料轮梳妆台可根据需要方便地更换钻石和钻石浆料。SPEEDFAM 9B-5L-IV系统由强大的西门子自动化控制器驱动,它无缝地促进数据传输、控制和监控。最后，该单元配备了丰富的安全功能，包括紧急关闭功能。