二手 SPEEDFAM 9B-5L-S #9043712 待售

SPEEDFAM 9B-5L-S是一种通用的自动化精密晶圆研磨、研磨和抛光设备。该系统的设计应用包括切削、回磨、CMP和150 mm以下晶片的抛光。它是一种能够达到亚微米精度的高精度单元。该机由一个920mm x 600mm的研磨板和五个600mm x 200mm的研磨安装站组成。每个研磨站都配有一个伺服电机和编码器，控制研磨表面运动，提供对研磨速度和运动方向的精确控制。垫片的位置应尽量减少颗粒污染，并能有效收集灰尘。9B-5L-S的研磨站配备了能达到高达20,000 RPM速度的高扭矩、低速电动机。SPEEDFAM 9B-5L-S能够进行干磨和湿磨,适合广泛的应用。该工具的研磨阶段配备了多步可编程循环控制。这允许用户配置研磨过程以匹配其应用程序的要求。它还确保了研磨过程是可重复的和可跟踪的未来审计。此外，还可以选择采用校准循环，自动补偿研磨板的磨损。9B-5L-S的抛光阶段配备了一个负载单元、一个伺服马达和一个编码器，对过程提供精确的控制。有可编程参数允许用户根据不同的要求调整压力、旋转速度和速度坡道。SPEEDFAM 9B-5L-S是一种可靠可靠的资产,能够产生卓越的效果。它提供了对研磨、研磨和抛光过程的精确控制,确保晶片的均匀光洁度。它适用于需要精确晶片加工的应用,非常适合用于需要高质量控制标准的制造操作。