二手 SPEEDFAM 9B-5L-T #9398252 待售
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ID: 9398252
Double sided lapping machine
Diameter lapping plates, 25"
4-Way drive motion:
Upper plate
Lower plate
Carrier sun driver gear
Carrier ring
Driver gear all in rotation
Maximum clearance upper and lower plates, 18"
Thickness of abrasive machining plates, 1.2"
Motor-driven carrier sun gear reversing system
Automatic thickness control
Pressure system III
Variable speed control with slow start and stop system
Precision lifting / Pressure control air cylinder with proximity sensor
Geared carriers for durability
Nickel plate ring and sun gears
Steel upper plate drive
Stainless steel exposed hardware and table edging
Epoxy-coated drain system
Aluminum slurry ring
Inching
Hour meter with reset option
Digital readout timers
Automatic slurry distribution
Analog tachometer
2-Hand safety control
Paint: SPEEDFAM White
Lower abrasive machining plate speed: 6-60 RPM
Upper abrasive machining plate speed: 2-20 RPM
Workpiece carrier speed: 3-21 RPM
(5) Workpiece carriers
Carries diameter: 7-¾"
Main drive motor: 3 HP
Sun gear carrier driver motor: ½ HP
Control circuit power supply: 110 V
Power supply: 230 V, 3 Phase, 60 Hz.
SPEEDFAM 9B-5L-T是一种多功能研磨、研磨和抛光设备,专门为满足半导体、光学和封装基板加工的需要而设计。系统由垂直主轴上的9英寸圆盘研磨轮、水平主轴上的5英寸研磨轮和5英寸变速转盘组成。这三个组件能够执行各种操作,包括横截面研磨、端视图研磨、后研磨、侧研磨和抛光。9英寸的盘式磨轮设计用来研磨薄至3mm、厚至10mm的晶片。5英寸的研磨轮可容纳0.4mm至1mm厚的晶片,最大尺寸直径可达150 mm。转盘采用油脂润滑气动台的静态保持功率,允许优越的研磨和抛光效果。9B-5L-T由用户友好的可编程控制器控制,该控制器可监视和调整主轴速度、台式速度和进给速率。这允许用户准确处理所需参数,以达到所需的应用结果。该单元被封装在一个柜子里,以提供防尘和防屑,并且在加工过程中使用高压冷却剂,使磨轮不受碎屑和毛刺的影响。使用的变速电动机和主轴可以产生20,000 rpm的最高转速,以保证精度和精度。该机采用高品质的不锈钢框架和铝合金部件构成,包括磨削护罩和防磁手套,以保证用户安全。它还具有各种输入/输出连接器和带有LED指示灯的中央控制面板,以便于监控工具。SPEEDFAM 9B-5L-T的设计可容纳各种晶圆和基材,如硅、陶瓷和金属。它还提供可选的附件,以满足特定的应用需求。该资产设计用于快速高效的研磨、研磨和抛光,以实现卓越的表面光洁度。
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