二手 SPEEDFAM 9B-5L #293641135 待售

SPEEDFAM 9B-5L是一种晶圆研磨、研磨、抛光设备，广泛应用于半导体生产和光学制造。该系统旨在在各种材料（如硅、蓝宝石基板和金属）上创建卓越的高精度平面。该机组采用三站配置，结合了旋转研磨机构、固定研磨机构和研磨抛光机构。旋转研磨台采用安装在主轴上的金刚石研磨轮，可精确控制研磨压力和速度。固定式研磨台采用独特的空气承载机，能够在广泛的受力范围内实现无摩擦操作，确保了高精度的加工。SPEEDFAM 9B5L有一个全自动研磨和抛光阶段，在受控液压分配工具下使用金刚石或氧化铝磨料。这样可以精确控制表面研磨和抛光的均匀性和深度。资产还有一个严格的气体净化模型，使用重型氮气洗涤器和排气过滤器清除空气中的颗粒和气体，确保清洁、无污染物的工作条件。9 B-5 L设备还包括一个先进的运动控制套件，用于调节系统内的所有运动，包括研磨和抛光阶段。该运动控制套件由工业级的基于PC的数控控制器、基于编码器的闭环控制单元和先进的伺服电机驱动机组成。总体而言,9B5L工具是一种高度复杂的自动化资产,旨在在一系列材料上创建卓越的平面。它有一个精密的运动控制组件，可以精确控制模型，以及一个坚固的空气轴承设备，用于无摩擦操作。该系统还有一个统一的排气装置和一个氮洗涤器，可确保清洁、无污染的工作条件。