二手 SPEEDFAM 9B-5L #9143836 待售
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ID: 9143836
优质的: 1999
Lapper / Polisher
(2) Variable frequency drives
(3) Motors:
Main drive
Sun gear (Reversible on control panel)
Vertical sun and ring gear elevation adjust
320 Grit SiC
Main plate 10HP VFD with no lapping hours
Sun gear motor & VFD: 3HP
Stainless cover
Electrical panel devices with VFD (Variable frequency drive)
Common to lap & polish:
Substrate material
Cylinder pressure
Flatness of plates
Plate material
Conditioning of plates
Carrier thickness
Carrier material type
Target surface finish
Lap:
Grit material
Grit shape
Grit size
Grit size tolerance (Vendor dependent)
Grit carrier solution, mixing or grit suspension
Grit pump rate
Polish:
Substrate flatness prior to polish
Slurry material
Slurry pump rate
Pad material
Pad type
Processing materials:
Aluminum nitride (AlN)
Beryllium oxide (BeO)
Coorstek superstrate (Al2O3)
Does not include:
Slurry delivery system
1999 vintage.
SPEEDFAM 9B-5L是一种精密晶圆研磨、研磨和抛光设备,专为需要高通量和均匀性的应用而设计。SPEEDFAM 9B5L采用先进的双级研磨系统,可提供直径不超过6英寸的基板的快速、一致和同时研磨。与传统的多级抛光机相比，机载抛光装置提供了更好的均匀性抛光效果。独特的振动机，驱动磨料带磨削过程，提供了对抛光力、速度和机器平稳运行的终极控制。9 B-5 L具有无死区驱动滚筒设计、轻巧、耐腐蚀的模具底座和创新的双轴支撑结构,可提高应用刚度。双级设置提供快速、均匀的研磨和研磨效果,实现单次操作,即使工件轮廓复杂。此外,它的无复刻配置消除了在操作过程中更换磨料带的需要,从而提高了吞吐量和作业一致性。为了清洁高效地运行,SPEEDFAM 9 B-5 L包括一个全流程监控工具,具有实时反馈和自动化流程控制功能。机器直观的图形人机界面（HMI）将关键的工艺参数用于在单个屏幕内控制研磨、研磨和抛光结果,以便于访问。用户友好的菜单导航使用户能够快速设置参数以进行处理和过程优化。该资产独特的空气洗涤器净化模型创造了清洁的气流，以减少灰尘颗粒和其他碎屑，确保生产环境中的清洁、安全运行。为保证低噪声操作，在机内内置隔音，噪声水平降低了80%以上。9B5L提供先进的技术和卓越的性能,为工业应用提供高质量的晶圆研磨、研磨和抛光解决方桉。它可用于双面应用和单面应用，如太阳能电池板，用于高精度应用。它的可移植性、灵活性、自动过程控制等先进特性，使其成为光子学、半导体和医疗器械行业各种晶圆研磨、研磨和抛光应用的理想之选。
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