二手 SPEEDFAM 9B-5L #9222186 待售

ID: 9222186
优质的: 1998
Lapper 1998 vintage.
SPEEDFAM 9B-5L是一种自动晶圆研磨、研磨和抛光设备,设计用于生产高精度微电子元件。该系统是一步一步的自动化工艺,用于研磨、研磨和抛光各种材料,如石英、硅和其他用于微电子学的半导体材料。该单元由一个基本单元和几个外围部件组成,包括一个自动抛光机、一个C轴偏心磨头、一个机械磨臂、一个研磨机和一个液体抛光站。基础单元由重型钢材和滚筒构成,便于在生产区域周围移动。它还包括一个主控制面板和一个10英寸的触摸屏,带有编程定义的操作和配方。所有附件都安装在支架上,以便完全随身携带。自动抛光机利用金刚石磨料颗粒、陶瓷圈和/或树脂粘合磨料轮完成磨削、研磨和抛光工艺。C轴偏心磨头使晶片和正在加工的元件完全可访问,从而提供更光滑的光洁度和更高的精度控制。机械研磨臂具有可调节的速度机构和可调节的位置,使其能够深入到材料中并更精确地成形。研磨机的工作原理是用磨料表面研磨材料表面。这是使用可变压力和速度以及真空传导的液体浆料来实现的,这种浆料有助于产生均匀的光洁度。液体抛光站通过分散程序编程的非反应性液体颗粒来抛光石英材料,从而提供石英的最终抛光。这确保了标准化、高精度的精加工。SPEEDFAM 9B5L是一种功能强大的自动化机器,能够快速、高精度地精加工微电子元件。对于需要最高质量、可重复的产品的生产工艺来说,这是一个理想的选择。其先进的编程能力、高效的磨料加工以及可调节的速度、位置和压力,为每次使用提供可靠一致的结果。
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