二手 SPEEDFAM 9B-5L #9276628 待售

SPEEDFAM 9B-5L是一种高度先进的自动化晶圆研磨、研磨和抛光设备。该系统被设计为产生难以置信的精确晶圆表面，具有无与伦比的可重复性。SPEEDFAM 9B5L特别适合生产用于先进硅集成电路和MEMS器件的精密晶片。9 B-5 L使用12轴机器人磨削龙门进行磨削和抛光操作。根据生产周期的不同，操作员可以从各种磨轮中进行选择，包括直径达320毫米的金刚石浸渍，以及高达220毫米的聚酰亚胺粘结。Robotic Grinding Gantry能够执行各种各样的研磨和抛光操作,从去除精细的地形到更大的复杂凹陷和剖面。9B5L还配备了5轴研磨/抛光站。该站提供了将晶片抛光至更高精度标准的能力，这对于生产超精度晶片至关重要。研磨/抛光运动由电机驱动的带有线性编码器的交叉构件提供，达到0.01微米的运动分辨率，可重复性超过百分之一微米。9B-5L可以接受25.4-203毫米之间的晶片并接受磁带、无带和定制载波。整个单元设计得相当坚固，机器人龙门能够提升超过25公斤。SPEEDFAM 9 B-5 L还提供灵活的配方管理,允许用户在整个操作过程中轻松调整速度、压力和方向等参数。总而言之,9 B 5 L是一种非常强大的机器,可自动进行晶圆研磨、研磨和抛光操作。该工具具有广泛的适应性砂轮和精密的研磨/抛光，能够为先进的晶圆提供超精度的结果。资产的稳健性和灵活的配方管理使其非常适合任何生产任务。