二手 SPEEDFAM 9B-5P-5 #293633720 待售

SPEEDFAM 9B-5P-5晶圆研磨、研磨、抛光设备是一种先进、高精度的晶圆处理解决方桉,旨在提供无与伦比的精度、可重复性和吞吐量。这一经济高效的系统提供多种研磨、研磨、抛光头和介质,能够通过快速、精确地处理多种尺寸的硅和其他材料来降低生产成本。9B-5P-5单元的主要部件是三个固定机械级，具有低振动、直接驱动晶片对准和无齿轮转换的特点。每个阶段由一个精密主轴、一个多轴运动机、一个可编程间距轮和一个重型铝制框架组成，为晶圆研磨和抛光任务提供精确的粒度和精度。该工具配备了用于精确定位的高性能、负载无关的线性伺服级，以及允许高速切割高纵横比特性的高动态、双动径向级。该资产还具有先进的高扭矩主轴,可高达160,000 rpm（每分钟转数）,确保平稳一致的结果和最小的材料损失。SPEEDFAM 9B-5P-5能够产生高达4,500 rpm的速度，使其速度足以处理甚至最苛刻的晶圆研磨应用。该模型采用集成、高精度的研磨手柄和脚部,即使是最坚韧的材料也能高效研磨、膝盖和抛光,而不会损坏或变形。最后,9B-5P-5编程简单,需要最少的操作员接口.它与各种软件程序兼容，并且随着流程或材料需求的发展而易于升级。其自动调谐校准设备也使得快速调整和微调设置变得简单，进一步降低了晶圆研磨的整体成本，同时取得了优越的效果。