二手 SPEEDFAM 9B-5P-IV #9166107 待售

SPEEDFAM 9B-5P-IV晶圆研磨、研磨和抛光设备是一种自动化、先进的加工系统，专为满足半导体行业的需求而设计。9B-5P-IV单元结合了SPEEDFAM研磨、研磨和抛光产品的最佳技术的独特组合,包括卓越的磨料技术、先进的机器人运动、最先进的检验技术以及最先进的工艺控制和监控系统。SPEEDFAM 9B-5P-IV机由DWG-6砂轮组成，利用从200网格（74微米）到1微米的磨料粒径。金刚石砂轮精密平衡,晶圆研磨安静一致.结合精确的机器人运动，该工具在控制薄膜厚度时确保最大精度和质量。DLSP-6圈板是用于晶圆研磨和提供精湛的均匀性和平坦性与它的低摩擦，非磨料橡胶杯。Specfam的直径6英寸的圈板提供了较大的表面积和广泛的抛光能力，非常适合半导体晶片。采用纤维填充树脂基材料的DRP-6抛光板非常适合以最高精度和防腐蚀标准对晶片进行抛光和精加工。9B-5P-IV处理资产配备了先进的视觉模型，可以分别对每个晶片进行成像，并实时实现完整的全局均匀性测量。视觉设备也是监测和控制自适应晶片加工的组成部分。过程控制软件与系统的视觉单元协同工作，以保持准确的过程控制。SPEEDFAM 9B-5P-IV机器能够处理直径从2英寸到8英寸不等的晶圆尺寸，还包括一个获得专利的晶圆清洗工具，以减少晶圆断裂。总体而言，9B-5P-IV晶圆研磨、研磨和抛光资产是一种最先进的加工模型，旨在满足半导体行业日益精确的要求。该设备先进的磨料技术,结合其精密的工艺控制和监控软件,使其成为磨削、研磨和抛光晶片以最精确的精度的理想选择。