二手 SPEEDFAM 9B-5P #9352976 待售

SPEEDFAM 9B-5P是一种晶圆研磨、研磨、抛光设备，能够将硅、SiGe、III-V、单层或多层薄膜等各种基板精加工，达到以往常规方法无法达到的一系列平坦度、平行性和表面光洁度规格。该系统建立在一个载波板上，该载波板由两块板和一个用于保存晶圆样品的顶板组成。供应给三个调节阀的压缩空气控制晶片样品的进料速率和敷料速率。金刚石轮用于研磨晶片样品，交叉进料机构提供研磨所需的压力。使用手写笔类型选择器机构根据所加工的晶片基板选择研磨、研磨和抛光参数。该装置配有恒压研磨机和水冷抛光工具，确保晶圆表面的光洁度一致。资产还具有位置检测类型的遍历机构,允许对工件进行校正和调整。9B-5P还配备了闭环光学反馈模型，可以连续监测研磨和抛光过程。这样可以确保每批晶片样品的处理效果与可重复结果一致。SPEEDFAM 9B-5P非常适合半导体和光学器件制造商,他们的部件需要达到较高的平面度和表面光洁度,而且可能没有资源投资于全面的抛光设备。