二手 SPEEDFAM 9B #293621393 待售

SPEEDFAM 9B是一种全自动的数控晶片研磨、研磨和抛光设备，设计用于半导体晶片的低成本和高精度抛光。它具有一种新颖的抛光结构，使c-direction和w-direction研磨能够改善表面粗糙度控制，并有较短的循环时间来快速完成过程。该系统包括一个用于在晶圆上进行研磨和抛光的模块化高速主轴，以及一个在给定的机器循环中自动重复操作的转盘。转盘的旋转频率为1 Hz，由负载手推车驱动。机器的刀具布置是灵活的，允许工具的定制布置，以最适合晶圆在生产过程中的工艺要求，如晶圆的大小和厚度不同。SPEEDFAM 9 B的过程可以通过直观的、基于GUI的软件来控制。它包含自动识别晶片类型并相应调整主轴和研磨板的自动识别算法。该软件还提供了生产过程的完全冗余和监控，允许在操作过程中进行数据流传输，并提供所有过程的完整可追踪性。该单元的抛光过程由高速主轴进行，可获得与机械抛光类似的表面质量，但对表面形状和尺寸的控制有所改进。这种主轴的频率范围为0.1-8毫米，速度高达15,000 rpm，最大8,000 g-force。为了保护晶片和工具,9 B配备了安全功能,可防止发生事故并确保符合人员安全和工艺质量标准。这台机器用透明的盖子封闭起来，这样大多数操作都可以直观完成，同时为操作员提供充分的保护。此外，该工具还配备了安全传感器，用于检测物体的存在，并在必要时停止任何操作，从而在生产过程中对危险事件提供全面的安全保护。总而言之，9 B是一种先进而精确的晶圆研磨、研磨和抛光资产，它以更快的工艺和更高的安全性提供卓越的表面质量。该型号适用于半导体行业的各种生产应用，提供无与伦比的精度、速度和多功能性。