二手 SPEEDFAM 9B #293656101 待售

SPEEDFAM 9B是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备，设计用于半导体、MEMS、光电、研究和国防工业的易用性、更高的吞吐量和改进的工艺可重复性。低振动、非接触式磨料加工方法提供了优越的表面光洁度，实现了远远优于手动抛光的光洁度。研磨研磨过程由SPEEDFAM 9 B软件启动，该软件调节研磨和研磨轮运动、主轴运动，还定义了研磨和研磨过程中材料的穿透深度。磨削和研磨头被编程为遵循所需的轮廓，并在晶圆的整个表面积上提供相等的压力。9 B系统配备了通用的刀具更换单元，允许对不同晶圆尺寸和工艺参数进行快速的刀具更改和设置。高精度研磨台通过记录晶圆位置和确保正确的车轮定心来提高精度。9 B的微处理器控制自动控制使主轴转速和板面加速度保持不变，同时提供精确的端点监控。此过程中收集到的数据用于控制研磨压力，每次研磨研磨操作后向机器发送信号，并提供自动交互反馈、中期和调度校准，以及对压板面进行重新配准。SPEEDFAM 9B利用先进的水溶性磨料介质消除材料径流，最大限度地提高成品表面的均匀性。该工具提供了广泛的整理选项，同时消除了由颗粒堆积和逃逸尘埃造成的环境风险。该资产具有安全性和易用性功能,如多层次保护和用户友好的触摸屏界面。它还与现有的硬件和软件平台兼容，确保了操作方便和快速集成到生产环境中。SPEEDFAM 9 B是一种强大高效的晶圆研磨研磨解决方桉，以安全可靠的方式实现精确、均匀的表面光洁度。该模型具有大量自动化功能,旨在为各种生产应用程序节省时间、降低成本并提高产量。