二手 SPEEDFAM 9B #293661598 待售

製造商
SPEEDFAM
模型
9B
ID: 293661598
System.
SPEEDFAM 9B是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备,提供最先进的设计和性能。SPEEDFAM 9 B系统在多任务半导体晶圆加工和精加工过程中采用了一系列特性和技术,包括扁平研磨、平滑、最终抛光和研磨。9 B单元采用1200 rpm主轴电机,带有液压静止轴承,可实现长期、无振动、精确的晶圆加工。电机能够容纳6"至12"的主轴高度范围。这台机器还采用了双接头臂设计,可以更轻松地控制装卸,同时降低传统接头臂设计中的气质灵敏度。该工艺包括使用金刚石磨轮和研磨板。金刚石研磨板被设计用于晶片的整体回薄和加工其他难以加工的表面。精细的研磨板和金刚石磨轮以及水溶性润滑剂可提供均匀一致的表面光洁度。9 B工具易于使用和设置。它配备了一个直观、用户友好的触摸屏界面面板,允许用户控制重要的过程参数,如研磨路径、研磨压力、表面光洁度和运动控制。由于SPEEDFAM 9B集成了高速运动控制资产以及速度和扭矩的动态数字控制,因此具有非凡的性能。这种模型保证了重复的、高度精确的晶圆加工,这是无法实现的手动研磨和抛光机。SPEEDFAM 9 B是考虑到最终用户而设计的可靠设备。由于9 B直观的操作控制软件允许操作员监控过程中的度量和跟踪过程数据,因此数据收集和性能监控得到了高度简化。然后以电子方式存储收集的数据,以便进行详细分析和长期改进。综上所述,9 B是晶圆研磨、研磨和抛光系统,与传统系统相比,其性能、速度和精度均有所提高。强大的设计、直观的界面、简单的设置和先进的速度控制使得SPEEDFAM 9B成为一个全面的晶圆处理解决方桉。
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