二手 SPEEDFAM 9B #9388411 待售

SPEEDFAM 9B是为晶圆研磨、研磨、抛光而设计的多功能设备。它能够高效地进行多种研磨、研磨和抛光工艺，特别适用于大型晶圆加工。SPEEDFAM 9 B采用固定板、导轨系统和旋转台建造，配备手动卡盘，设计用于最佳除尘。它有一个开放式的框架配置，允许直接的机器维护与重铬酸盐涂层钢表与真空密封不锈钢顶板。它还由三相交流电动机和驱动单元提供动力,可调速至最高2500 RPM。9 B还配备了闭环伺服控制直线电动机，提供5nm的速度分辨率和2nm的分辨率以及可控的工艺时间，以确保精密的研磨和抛光操作。它还配备了线性旋转执行器，负责控制研磨压力，以及在研磨过程中给予平台很高的稳定性。9 B还有几个附加功能，例如真空机配有可调节的无刷电动机，能够进行真空密封以完全收集灰尘。此外，该机配备了收集尘埃机器人，确保处理过程中的清洁工作环境，以及带有警告和联锁系统的安全工具，以防止发生事故。它是用于半导体制造业以及加工透镜和其他光学元件的完美工具。SPEEDFAM 9B具有可调的速度、先进的除尘和精确的控制,可提供高质量的研磨、研磨和抛光操作。