二手 SPEEDFAM Auriga C #141544 待售

SPEEDFAM Auriga C是晶圆研磨、研磨和抛光设备，是生产基材和其他产品的理想平台。Auriga C提供卓越的表面光洁度质量和高吞吐量。其先进的设计使其可用于半导体制造业的许多不同应用，如变薄、背面研磨、表面研磨、研磨、抛光等。SPEEDFAM Auriga C搭载的高速主轴可达15,000 rpm的速度，可调范围从400至8,000 rpm。主轴利用FAG电子学习技术，在许多晶圆研磨周期中提供准确和可重复的结果。该机还具有磁力驱动系统，为软硬材料提供了出色的研磨能力。无论材料的硬度如何,该驱动单元都能保持研磨过程的精度。机器的模块化设计允许完全定制，从而减少周期时间和持续的生产率。这包括广泛的研磨介质，从钢到金刚石磨料。自旋滤波器的附加选项可确保所使用流体的纯度。Auriga C还配备了除尘装置和防尘装置，以减少污染。除尘工具易于维护，并具有集成的除尘资产，具有易于使用的吸尘器框架。该模型还包括一个功能强大的可编程逻辑控制器（PLC），它自动控制晶圆研磨、研磨和抛光过程的各个方面。这样可以为特定应用程序设计自定义设置,从而确保可重复性和准确性。SPEEDFAM Auriga C具有高精度测试设备、自动化系统和软件的组合,旨在确保基板和组件获得一致、高质量的结果。Auriga C是满足各种制造要求的理想设备,提供生产精确度、灵活性和高性能。