二手 SPEEDFAM Auriga EC #141545 待售

SPEEDFAM Auriga EC是一种全自动晶圆研磨、研磨和抛光设备，设计用于半导体晶圆的精确研磨和抛光。它是为了保持精确的表面平坦和横向精度与超精确研磨和抛光质量。Auriga EC是一款先进的机床，通过使用压电驱动系统，提供降低工艺时间、提高产量、提高表面平整精度的潜力。SPEEDFAM Auriga EC的主要部件包括一个容纳磨削、研磨、抛光半导体晶片的上部头组件、一个大型研磨/平面台以及一个同时研磨和平面晶片的下部旋转台。Auriga EC配备了各种不同的磁头和工具，根据用户的流程和应用需求量身定制。其中包括钻石行星研磨头、晶圆研磨机、线性研磨机、行星平面抛光头和单晶圆抛光机。SPEEDFAM Auriga EC旨在实现精确的半导体平坦度、表面粗糙度和横向精度。Auriga EC采用了获得专利的CCD激光线曲率测量单元，允许高精度精确测量表面平坦度。此外,由于其高功率的振荡电机,SPEEDFAM Auriga EC可以在0.4 nm内达到平坦度。Auriga EC还配备了内部空气过滤机，在加工过程中清洁并保持最佳空气质量，并完全清除任何化学污染物。SPEEDFAM Auriga EC还包括一个内置的自动晶圆夹紧工具，精确精确地定位晶圆在机器中。此外，Auriga EC拥有广泛的数据记录功能，允许用户存储、分析和审阅晶圆研磨、研磨和抛光过程中生成的数据。最后，SPEEDFAM Auriga EC是一种经济高效的半导体晶圆研磨抛光解决方桉。它是一种高度可定制和用户友好的资产,配备了高级功能。Auriga EC确保生产半导体晶片所必需的精确平坦度、表面均匀性和横向精度。