二手 SPEEDFAM Auriga EC #293808014 待售
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SPEEDFAM Auriga EC是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备,旨在提供卓越的生产吞吐量和产量。该系统采用全系列手动和自动晶片处理设备,包括Auriga EC夹具、研磨和抛光机。SPEEDFAM Auriga EC夹具设计用于加工直径达3英寸的晶片。它具有剪刀式的运动，允许沿着X、Y和Z轴精确移动，在处理晶片时允许更高的精度。该单元还配备了手动移动机，允许对移动速度和其他变量进行调整，以确保高质量的处理。Auriga EC研磨和抛光机采用先进的自动化工具,可提高生产吞吐量并缩短停机时间。该资产旨在控制速度、方向和电源设置,以确保所有晶圆表面的抛光一致。该模型还包括一个压力控制特征，可用于调整研磨和抛光过程中施加在每个晶片上的压力。SPEEDFAM Auriga EC设备设计具有先进的安全功能,以确保操作员不受伤害。这些特点包括一个安全锁功能，可调节的高度用于研磨和抛光操作，以及一个低反应臂与增加保护的安全屏蔽。该系统还包括一个二业权证明传感单元，用于监控晶片表面在处理过程中是否有裂纹或起重的迹象。Auriga EC机还包括种类繁多的工艺专用配件，包括样品架、磨盘、抛光和研磨磨料，以及种类繁多的金刚石轮。这些配件的设计旨在进一步提高生产吞吐量和产量，并且可以调整以适应各种工艺要求。SPEEDFAM Auriga EC工具旨在为各种应用提供具有优异效果的高速晶圆处理。该资产的设计便于操作,SPEEDFAM的工程人员可提供额外的支持和指导。该模型设计为可靠、经济高效,是大型晶圆加工操作的理想解决方桉。
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