二手 SPEEDFAM Auriga EC #293808015 待售
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SPEEDFAM Auriga EC是一种通用、自动化的晶圆研磨、研磨和抛光设备，产生一致、高质量的晶圆。它旨在确保在批量生产环境中对不同类型的晶片进行准确和可重复的精加工。利用单一通行证技术和集成的介质回收系统,它以最少的材料使用量提供了最大的吞吐量。Auriga EC有四个独立的处理站；一个用于粗磨，一个用于研磨，两个用于抛光。SPEEDFAM Auriga EC作为大批量生产的经济高效解决方桉,一次处理多达八个晶圆。提高了晶片的产量、吞吐量和保持力.Auriga EC具有直观的触摸屏控制单元,可存储多达180种配方,并提供有关过程条件（包括速度、温度和压力）的实时反馈。这种过程控制监控器允许用户密切监视整个过程，以及减少维护停机时间。SPEEDFAM Auriga EC有一个连续的媒体回收工具，确保最大产量和低材料成本。它还采用了可编程的浆液注入和流速设置，允许加工者在加工过程中密切调节浆液的浓度。可与多种浆液类型和浓度配合使用，以确保最佳效果。此外，Auriga EC配备了精密伺服驱动器，在处理过程中提供晶圆的精确定位。其平滑的运动使材料能够均匀去除，并防止损坏晶片。它内置的真空资产消除了空气中的粒子，使其成为操作人员更安全的环境。最终,SPEEDFAM Auriga EC为大批量生产环境提供了可靠、可重复的高质量晶片精加工。它采用直观的触摸屏控制模型、连续介质回收设备和精密伺服驱动器,使其成为适合任何操作的完美晶圆研磨、研磨和抛光系统。
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