二手 SPEEDFAM Auriga #9114132 待售

SPEEDFAM Auriga是一款多功能晶圆研磨、研磨抛光机。这种最先进的设备以先进的运动控制技术、强大的驱动主轴和动态非接触式空气承载能力，为半导体晶片提供精确高效的平面化和缺陷消除。Auriga平台具有广泛的特性和功能，包括增量运动的微步控制、强大的主轴电机、闭环速度控制和自动刀具交换。这确保了稳定、高精度的晶圆研磨、研磨和抛光。此外，该机由于其快速、容易的转换过程，能够与各种类型的基板一起工作。SPEEDFAM Auriga专为在整个生产周期中实现最佳容量、吞吐量和效率而设计。它使用六个主轴来提供晶片的最佳研磨、研磨和抛光。每个主轴最多可控制两个轴，这样就可以快速轻松地调节研磨力。此外,多方向运动特性提高了Auriga系统的操作灵活性。SPEEDFAM Auriga采用多种先进材料建造，包括不锈钢、铝和两者的组合。这种材料结构在其使用寿命内可确保持久可靠的性能。Auriga的最大研磨范围为2895 x 2357 mm，为要求最苛刻的应用提供多种选择和支持。SPEEDFAM Auriga单元利用其先进的运动控制技术，允许动态响应多轴坐标移动。事实证明，该机的精密操作及其坚固的结构比传统的研磨系统更可靠。此外,各种进纸、形状和边缘校正算法为用户提供了磨削功能的多功能性。Auriga也能够使用多种研磨技术来研磨晶片，包括研磨、研磨和抛光。凭借其先进的技术，它为各种半导体晶圆研磨、研磨和抛光要求提供了高效、安全的选择。由于其主轴和非接触式空气轴承在闭环控制环境中工作，该机提高了晶片的粒化和研磨精度。简而言之，SPEEDFAM Auriga为一系列半导体晶圆提供了先进的研磨、研磨和抛光能力。其坚固的结构、精确的运动控制、强大的电机、非接触式空气轴承，使其成为一台可靠高效的机器，可达到最高质量的效果。