二手 SPEEDFAM BT64 #9289258 待售

SPEEDFAM BT64是一种多用途晶片研磨、研磨和抛光设备,能够处理几乎任何类型的晶片,直径不超过200 mm,厚度不超过0.2mm。该系统提供了一种低成本但高效的解决方桉，用于处理各种类型的晶片，包括硅、III-V化合物和陶瓷。BT64采用数控研磨和研磨头。此磁头由步进电机提供动力,并利用气动驱动的臂来提升和降低研磨/研磨轮。此外，车头还加入了编码器，以精确调节纺车的速度。磁头还具有安装在研磨/研磨轮上方的可调气垫，方便快速高效的晶圆处理。SPEEDFAM BT64还具有可编程晶圆映射表。此单元允许用户快速输入诸如晶圆数、晶圆尺寸和所需最终产品规格等参数。然后,机器将自动计算成功抛光和研磨所需的通路次数、间隙设置、晶圆速度和其他必要参数。该工具配有两个磨削/研磨操作的抛光盘和一个抛光操作的抛光盘。抛光盘可以容纳不同等级的抛光垫，有各种尺寸和材料可供选择，以满足各种晶圆类型的需求。对于研磨操作，用水润滑来减少晶片上的摩擦，避免产生任何静电。此外，BT64还配备了真空资产。该模型有助于去除设备中的磨削和抛光介质以及晶圆碎片。它还有助于保持研磨/研磨和抛光操作的清洁环境。SPEEDFAM BT64能够在晶片上实现超光滑的表面,并在晶片的整个表面积上实现高度均匀的厚度。这使得它特别适合制造高性能半导体器件。此外，BT64的设计符合严格的环境标准，能够长时间以自动化方式运行，使其成为晶圆研磨、研磨和抛光的高效和经济高效的解决方桉。