二手 SPEEDFAM CMP-V #9300427 待售

SPEEDFAM CMP-V是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备，设计用于半导体晶圆表面的高精度加工。这是一个具有先进技术特点的综合系统，能够对晶圆上的平面和深沟进行高精度加工和加工，精度不到一微米。用于半导体和微电子元件的制造和生产。CMP-V是一个全自动单元，可以同时运行批处理和单晶片。它包括一个桥和倾斜台的机器来定位晶片研磨，研磨和抛光。桥和倾斜台工具可以调整，以适应各种晶圆尺寸和厚度。采用先进的控制算法，对磨削、研磨和抛光过程进行连续监测和调整。该模型还采用无刷直流电机驱动的高精度空气轴承主轴，用于晶圆表面的研磨、研磨和抛光。它包括一个手动调节的磨浆进料设备来控制研磨和研磨过程的速度，以及一个可调节的研磨速度控制来优化该过程。该系统有一个先进的冷却剂单元，具有可编程的冷却时间，以确保在研磨和研磨过程中的最佳冷却。它还具有内置的冷却剂过滤机，它可以过滤冷却剂中的任何污染物，并保持刀具的最佳运行。为了安全起见,资产包括外部电源开关、冷却剂压力开关、紧急停止按钮以及允许远程监视模型的RS485接口。SPEEDFAM CMP-V提供晶圆表面和高质量表面饰面的精密加工，在一微米内可重复性。它是用于半导体元件制造和生产的理想选择。