二手 SPEEDFAM DSM 16B-5L-III #9222184 待售

SPEEDFAM DSM 16B-5L-III是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备,用于半导体元件的制造,其特性旨在提高吞吐量和精度。配有内径16英寸（500毫米）两轴精密磨削面，5轴插值计算机数控精度。SPEEDFAM DSM16B-5L-III利用高速主轴和CNC空气伺服驱动旋转台实现2.5µm的研磨精度，以及8µm的连续研磨设施和0.1µm的抛光操作。DSM 16B-5L-III配备了一整套标准研磨、研磨抛光工具及配件，包括多个金刚石研磨轮、光学抛光底板、刚性旋转乔木和多个可用于精确表面研磨操作的不同金刚石压缩机。该机还设有用于精确调整研磨参数的专用仪表、用于提高安全性的透明盖以及用于收集灰尘和碎屑的可调真空系统。其易于编程的数控单元用于控制机器的运行，操作员可以调节表面速度、进给速率、工作压力等参数。该机采用软件控制的振荡台设计，提高了磨削、研磨和抛光过程中的重复性和精度。DSM16B-5L-III也可用于各种圆形、方形和平面的精确研磨。它还配备了一个综合卫生工具和一个综合水冷设备，可确保达到预期的表面光洁度，而不会造成堵塞或污染的风险。所有这些功能使SPEEDFAM DSM 16B-5L-III晶圆研磨、研磨和抛光工艺的绝佳工具。其灵活的模型使其适合大批量生产，以及单工件操作。此设备为各种制造需求提供了强大且经济高效的解决方桉。