二手 SPEEDFAM DSM 16B-5L #9235617 待售

SPEEDFAM DSM 16B-5L是一种晶片研磨、研磨、抛光设备，旨在提供一定程度的自动化、精确度和多功能性，以扩大硅片生产线的生产能力。该系统能够在6英寸（150毫米）和8英寸（200毫米）晶片上执行光栅、研磨和抛光（GLP）操作,非常适合生产要求高度精确和均匀的硅表面的最新设备。这一单元利用最先进的CNC（计算机化数控）技术，精确控制用于物料去除的磨料路径，允许极其精确的研磨和抛光操作。组成研磨头的区段可以单独控制，具有执行笔直和螺旋研磨模式的能力。这允许用户根据所需的表面粗糙度和成品的均匀度来定制研磨图桉。这些段也可以互锁以允许同时研磨和抛光操作。DSM 16B-5L旨在提供全拆卸率、单轮速度、抛光力等过程控制参数。本机还提供喷水、推力压力、润滑油输送等多种参数，确保了长期过程的可重复性和一致性。该机还配备了运动控制工具，在高速研磨和抛光操作中提供对温度、振动和表面粗糙度的固有控制。该资产旨在方便地与现有晶圆生产线集成,提供直观的图形用户界面,从而减少操作员培训时间,并允许轻松优化各种流程设置。该模型还具有许多工具和功能,使用户能够确定每个过程步骤的有效性,包括自动过程控制、自动配方设置、过程结束质量检查以及对表面光洁度的实时监控。这些功能有助于确保高质量和一致的生产结果。SPEEDFAM DSM 16B-5L是一种高度通用和坚固的设备,可满足当今晶圆研磨、研磨和抛光操作的苛刻要求。其精确、用户友好的设计使其成为精密硅片生产的理想选择。