二手 SPEEDFAM DSM 16B-5L #9235618 待售

SPEEDFAM DSM 16B-5L是一种功能强大、精密的晶圆研磨、研磨和抛光设备，用于半导体、微电子、光学等行业。适用于硅、蓝宝石等材料平面表面的精光抛光，使其成为用途广泛、用途广泛的系统。DSM 16B-5L由一个主平台和晶片盒、压力单元、主轴和振动组件等几个模块化组件组成。主平台是机器的底座，坚固得令人难以置信。它由工业级、焊钢框架和板材工具组成，为长期耐用而设计。主平台可以配置一个或两个主轴和振动。晶片卡带资产包括一个将晶片装入模型的卡带托盘、一个真空源、一个提升机构和一个晶片转运站。压力设备在工作时对晶片施加精确的均匀压力。由高扭矩、三相电动机和0.1MPa精度的控制系统提供动力。压力单元还有一个温度监测和控制机器，用于微调施加在每个晶片上的压力。主轴和振动组件由高性能电机、耐用轴承、频率响应到5MHz以及最先进的减振工具组成。它能够处理高扭矩材料去除和精细研磨和抛光操作。SPEEDFAM DSM 16B-5L为晶圆表面提供光滑、精确的饰面,并能够在半导体行业标准要求的范围内控制表面粗糙度。它还提供了各种各样的宏设定，例如可以调整压力、速度和振动设置，为不同类型的晶圆材料定制研磨和抛光工艺。这种灵活性使其成为各种应用程序的理想选择。