二手 SPEEDFAM DSM 16B-5L #9275877 待售

SPEEDFAM DSM 16B-5L是一种晶圆研磨、研磨和抛光机,旨在提供全面、多功能和可靠的工艺解决方桉。这种晶圆研磨、研磨和抛光设备设计用于执行微电子器件制造过程中的所有关键步骤，并且可以很容易地进行定制，以符合任何需要研磨、研磨和抛光的器件的要求。DSM 16B-5L配备晶圆研磨站、晶圆研磨站、晶圆抛光站和采摘站。系统的晶圆研磨站能够以高达6,000 rpm的速度研磨和/或预磨,并由直流电动机提供动力以进行精确控制。该单元还包括一对直线级的精确空气轴承和一个电动主轴，以确保精确、可重复和稳定的研磨。此外，该机还配备了真空卡盘，可提供稳定可靠的晶圆传递工具。SPEEDFAM DSM 16B-5L晶圆研磨站还配备了直流电机控制装置以及精确的空气轴承和直线级，用于研磨过程的精确控制。资产还包括一系列抛光介质，如金刚石浆料、二氧化硅浆料、陶瓷浆料，可用于实现可重复、精确的效果。该型号的晶圆抛光站提供了一种高效且可重复的表面抛光工艺，并提供了许多不同的抛光头。该站的电动主轴可提供高达7000 rpm的转速，输出流畅稳定。此外，它还配有一对精密的空气轴承，配有夹具，用于安全和稳定的抛光过程。最后,设备中包含的拾取和放置工作站使其能够自动抓取和插入多达34个具有灵活处理能力的晶片。它配备了多个精密运动轴、真空工作台操纵器、直流电机和小型阀门，可以进行可重复和精确的晶圆处理。总体而言,DSM 16B-5L提供了一种全面可靠的晶圆研磨、研磨和抛光解决方桉.为满足最严格的微电子器件制造任务的要求，设计不懈地、始终如一地提供优越的工艺性能。