二手 SPEEDFAM DSM 16B-5L #9276479 待售
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ID: 9276479
晶圆大小: 4"-6"
优质的: 2011
Double side polisher, 4"-6"
Maximum down force: 500 Kg
Down force range: 0-500 Kg
Upper ring assembly weight: 530 Kg
Plate dimension:
Lapping: φ1125 x φ393 x 50 t
Polishing: φ1154 x φ364 x 50 t
Lower plate RPM: 15 to 60 RPM, 50/60 Hz
Main cylinder: φ160
Upper and lower plate driver motor: 7.5 kW
Ring gear drive motor: 2.2 kW
Sun gear drive motor: 1.5 kW
Ring gear / Sun gear Up / Down motor: 0.4 kW
Options:
Slurry pump: 0.4 kW
Agitation motor: 0.18 kW
Breaker capacity: 75 Amps
Air supply: 6 Kg/cm²
(5) Carriers
Carrier:
M: 3
Z: 142
Ring gear:
M: 3
Z: 395
Sun gear:
M: 3
Z: 110
Power supply: 220 V, 3 Phase, 50/60 Hz, 19.68 kW
Power supply: 220 V, 3 Phase, 60 Cycles
2011 vintage.
SPEEDFAM DSM 16B-5L是一种现代化的晶圆研磨、研磨、抛光设备，利用成熟可靠的研磨技术，在尽可能短的时间内实现优越的表面光洁度。这个多功能单元由一个单电机驱动的磨轮和五个独立的研磨和抛光模块组成。第一个模块是一个研磨系统，具有一组集成的研磨介质，可以与松散磨料或泥浆磨料一起使用，而第二个模块是一个单独的研磨轮，用于软硬材料的精加工操作。第三和第四模块都在进行抛光过程，包括玻璃和金刚石抛光操作。此外,第五个模块专用于与特殊压力源配合使用,以实现特定的表面饰面。DSM 16B-5L还包括一个自动装卸单元，允许用户最小化设置时间，最大化操作效率。此外，这台机器还配备了先进的计算机化数控（CNC）工具，为任意数量的部件提供极其精确的生产能力。操作员可以为每个要处理的组件编程各种参数，资产将自动注册所需的进程参数。该设备还提供了研磨介质和磨料的完整功能。它包括闭环冷却模型、可调喷水喷嘴和除尘设备，有助于最大限度地减少碎屑在磨削介质上的堆积，确保磨削作业的最佳效率。SPEEDFAM DSM 16B-5L易于维护,并且由于其自动化操作而很少需要操作员监督。它有一个较小的脚印比竞争模型，是非常经济划算。此外，精密电动机提供非常低的振动和噪声水平。总体而言,DSM 16B-5L是任何制造环境的最佳选择。利用它的自动化操作和精确的结果，可以依靠它来提供更高的精确度和可重复性的表面饰面。
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