二手 SPEEDFAM DSM 16B-5P-V #9148494 待售

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晶圆研磨、抛光
製造商
SPEEDFAM
模型
DSM 16B-5P-V
ID: 9148494
优质的: 2003
Double side polisher Process: CMP Capacity(4" Wafer): 4” 40, 6” 20 pcs Carrier: M3 x Z142 x 5Piece Upper platen: Φ1154 x Φ364 Lower platen: Φ1154 x Φ364 Plate thickness: Upper 50mm, lower 50mm Rotation speed Lower plate 10~60min-¹ Ring gear 5~30min-¹ Sun gear 5~30min-¹ Gease pump: Lube GAS-16-40 Speed controller: SMC AS205IF-06N Air cylinder: SMC CM2C25-25 Check V/V: SMC AK-4000-02 Pressure switch: CKD P4000-8-IS17 Control panel: 067V103-99 Power unit: A1S61PN Sequencer CPU: Q2A2CPU Inverter (2) FR-A520-15K FR-A520-1.2K Speed meter: MITSUBISHI A500 Noise filter: TDIC ZMB2203-11 Load cell: TEAC TC-10F Air Supply: 0.55~0.6Mpa 60NL/min-¹ ￠3/8Tube Water Supply: 0.15Mpa 20L/min￠12 Tube Drain: Φ89 200V, 3P 50/60Hz 2003 vintage.
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SPEEDFAM DSM 16B-5P-V晶圆研磨、研磨和抛光设备是一种最先进的系统,旨在高效研磨、研磨和抛光各种基材和晶圆。利用变速4轴数控平台提供精确、精密的研磨参数，生产出质量较高的晶片。DSM 16B-5P-V是一个16英寸的平台，设计精确和精确研磨，膝盖和抛光各种晶圆。它具有五个独立可控的压板、一个高压研磨架、一个高压腔室和一个集成的空气轴承主轴，使它能够同时研磨、拉圈和抛光多达五个晶片。该装置能够以高达400 rpm的速度研磨、研磨和抛光高达500 um的超细金刚石磨料颗粒。该机还可以接受各种其他磨料基板的精细和粗糙的饰面。刀具的变速电动机确保磨削、研磨和抛光过程始终准确、精确。SPEEDFAM DSM 16B-5P-V设计用于在包括温度、湿度和振动在内的一系列条件下运行,并且可以进行校准以满足最苛刻的应用。它还得益于多个安全机械系统,包括多点安全联锁资产和自动生产模式,以确保随着时间推移获得最高精度和一致的高质量结果。DSM 16B-5P-V还采用了最先进的计算机化诊断技术来提供模型性能的详细分析。诊断设备能够确定发生任何错误或故障的原因,并可以提醒操作员注意系统维护问题。这有助于确保产品以最高效率运行,同时有助于防止昂贵的维修或停机。该单元还向操作员提供实时反馈，使他们能够监控研磨和抛光操作的进度。综上所述,SPEEDFAM DSM 16B-5P-V是一种先进、精密的研磨、研磨和抛光机.它使各种基材和晶片的加工比常规方法和机械通常更精细。这样可以确保成品是各种应用程序的最高标准。
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