二手 SPEEDFAM DSM 6B-6L #149749 待售

SPEEDFAM DSM 6B-6L是用于半导体和MEMS行业的晶圆研磨、研磨和抛光设备。该系统由一个装有三个独立进程主轴的数控框架组成，每个主轴都有一个单独的驱动器单元，允许在不同阶段最多三个进程同时运行。它还有几个微磨料射流研磨（MAJL）喷嘴，用来精确砂粒和塑造晶圆表面。它还有两个激光扫描仪，用于在研磨过程中扫描晶片，从而可以精确控制晶片的表面轮廓。该装置能够以极高的精度和极低的粗糙度生产晶片，并能容纳150毫米至300毫米的晶片直径。该机由高性能矢量控制伺服电机和驱动程序提供动力，这些驱动程序可提供高精度和可重复性。它也是高效率的，周期时间短，由于热身时间短而对环境影响小。该工具包括一个自动晶片库存处理资产，使晶片能够快速、安全地加载、卸载和传输，并以最小的努力。该型号具有压力传感器、安全联锁开关等几个安全特点，有助于确保工人安全，降低工区发生事故的风险。该设备具有高精度和重复性，能够高精度地生产晶片，即使在大批量上也是如此。适用于可重复的超扁平晶片研磨、研磨、抛光工艺，能够产生极细公差0.1微米或以下的晶片。该系统非常坚固,提供卓越的过程控制和可靠的操作.它还具有用户友好的图形用户界面,允许用户快速、轻松地设置和监视流程。总体而言,DSM 6B-6L是一种出色的晶圆研磨、研磨和抛光设备,可提供卓越的性能、高精度和可靠的操作。它是晶片生产的理想选择，精度高，表面质量好，易于设置和维护。