二手 SPEEDFAM DSM 9B-5DPG #9233198 待售

SPEEDFAM DSM 9B-5DPG是为各种应用而设计的行星晶圆研磨、研磨和抛光设备。这套全自动系统采用单端主轴电机,可对直径不超过6英寸的半导体晶片进行精确的表面研磨、研磨和抛光。该单元允许其专利机械设计的高精度，低缺陷晶片处理。它采用悬臂式单端主轴电机,安装在Hi-Mach Exchange台上,以确保平稳、精确的运行。这种独特的两轴机器的紧凑设计使晶圆容量更大,同时占用的空间最小。刀具还具有集成的两轴线性提升组件,行程范围可达400mm。该资产直观、易于使用的触摸屏界面为用户提供了对各种高级参数的简单控制,包括砂砾进给速率、主轴速度、servoi-axes运动速度、起始位置、停留时间和刀具压力。它还配备了SPEEDFAM专利光学定位器（OPA），优化了研磨和抛光工艺的精度。综合性能包包括一个模具附着站、研磨站、可选的抛光台和一个单独的模具附着胶应用台。模具连接站支持手动操作,并且研磨站可以使用手动或自动形式的研磨介质和工艺参数进行操作。该模型还能够从手动到自动"重新加工"，以实现更高效、更高效的研磨和抛光工艺。该设备还具有全面的精度、性能和安全套件，确保了高度可靠的操作和最大的安全性。该系统包括X、Y轴温度控制、每个模具接头的整体工作灯和研磨站,以确保操作员的安全、全面过载保护以及将任何零件与环境的潜在污染隔离。DSM 9B-5DPG是一种全自动晶片研磨、研磨和抛光装置,通过获得专利的机械设计和直观、用户友好的触摸屏界面,确保高精度、低缺陷晶片处理。该机具有全面的精度和安全特性，可确保晶圆研磨、研磨和抛光的光滑可靠，适用于各种应用。