二手 SPEEDFAM DSM 9B-5L-IV #9191611 待售
网址复制成功!
ID: 9191611
优质的: 2000
Double sided lapping system
Without wafer position correcting carrier
Includes:
Sizing apparatus
Slurry tank unit
Pump
2000 vintage.
SPEEDFAM DSM 9B-5L-IV是为制造半导体器件而设计的晶圆研磨、研磨和抛光设备。该系统由一个集成平台组成,该平台包括四个处理站、一个计算机处理器、一个用户控制中心和一个晶圆处理单元。该加工机设计简单易用、操作高效。每个加工站都配有自己的高级控制工具,可以独立运行,也可以统一运行。四个加工站包括初级磨头、研磨头和抛光头。初级研磨头是利用磨料介质颗粒将晶片研磨成各种轮廓或形状的高速纺锤。这些磁头还能够在晶圆表面涂抹一层薄薄的金刚石粘贴。第二个加工站包括一系列的研磨头,使用金刚石膏轻轻地将基板表面圈起,以创建精确的纹理图桉。第三工艺站设有抛光头,进一步细化晶片表面,减少任何瑕疵。该站使用抛光介质清除小表面缺陷以及任何残留的研磨碎屑。第四个加工站用于使用后处理或精加工介质对晶片表面进行最终抛光。复杂的控制资产允许用户从头到尾对整个过程进行编程和监控。该型号还包括一个计算机处理器,可以存储用户的数据和设置,以便快速重复进程。用户控制中心包括易于操作的触摸屏,以及用于编程和监控研磨、研磨和抛光过程的集成用户界面。最后,设备包括晶圆处理系统,将晶圆从一个站转移到另一个站,无需任何人工处理。此自动化过程减少了与手动传输相关的时间、成本和错误。总之,SPEEDFAM DSM9B-5L-IV是一种先进的精密晶片研磨、研磨和抛光设备。该机由四个加工站、一个控制中心和一个晶圆处理工具组成。此资产专为高效和高性能的生产而设计,同时确保可重复的过程结果。
还没有评论