二手 SPEEDFAM DSM 9B-5L #9243835 待售

SPEEDFAM DSM 9B-5L是一种用于晶圆研磨、研磨和抛光的最先进的工具。该设备旨在提供最大效率、质量和可重复性。它由一个执行研磨、研磨和抛光操作的主单元和一个用于钻石抛光的SUPER DRESSER模块组成。DSM 9B-5L的主平台被划分为每个操作的区域：wi-fi研磨高达5.1 µm，抛光高达0.1 µm，研磨高达1.2 µm。平台采用不锈钢框架和铝板覆盖层构成。每个区域都配有陶瓷密封件，提供受控的研磨压力，以提高通量和降低气体泄漏。将UNIT封装在绝缘室内,以最大程度地减少噪音和环境影响。许多研磨和抛光操作都是自动化的。采用3轴直线伺服系统的倒置气动研磨/抛光臂可在可调力的情况下确保更快、更高的精度。SUPER DRESSER模块是一个集成单元，提供精密和快速金刚石抛光。它搭载了最新的金刚石抛光技术，使其具有高达15,000 rpm的高旋转涂层速度。金刚石抛光板的设计也能提供极佳的抛光效果，对晶片的伤害最小。此外，它还具有低温操作特性，能够对细腻的材料进行安全无损的抛光。SPEEDFAM DSM 9B-5L配备了触摸屏控制面板，用于手动调整时间、压力和温度，从而可以精确控制整个单元。它还具有先进的数据管理功能,包括操作记录、过程历史记录和警报历史记录,有助于保持最佳性能。这种晶圆研磨、研磨和抛光机也符合洁净室等级10的标准，并提供性能和安全认证，如CE和ISO。总体而言,DSM 9B-5L是晶圆研磨、研磨和抛光的绝佳选择.此高级工具能够实现高精度和高效的吞吐量,同时提供最高质量的结果。